眞空펌프 -
vacuum pump |
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 진공펌프의 목적
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밀폐된 용기에 있는 공기분자를
펌프를 통해 배기시키는 것.용기내의 기체밀도를 감소시키는 것이 목적이며
, 기체밀도가 작으면 작을수록 좋은 진공이라 한다. |
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구조 |
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2개의 날개홈이 파져있는 로타와 편심되어
있는 실린더 앞 , 뒤의 카바로 이루어져 있다. |
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동작원리 |
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그림 (1)과 같이
흡입구를 지나기 직전까지 계속되다가 날개가 흡입구를 지나는 그림(4)와
같이 흡입된 기체는 날개 사이에 갇히게 된다. 그림 (5)와 같이 밸브를
지나고 부터는 압축되기 시작한다. 충분히 압축되면 (약 850Torr이상)
배기밸브가 열려서 압축기체들은 배기밸브를 통해 배출된다. |
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펌프의 선정방법 |
진공시스템을 임의의 압력에서
요구되는 압력까지 필요로 하는 시간에 끝마치기 위하여 필요한 펌프의
배기속도를 아는 것이 중요하다.
진공시스템의 조건이 배기시간에 현저한 영향을
미치므로 이 방법에서는 경험적으로 구한 도달진공계수가 사용된다.
도달지공계수(F)는 사용되는 펌프에 따라 달라지고 진공도의 함수이다. |
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Pump down factor according to pressure |
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S
= FV / t |
안전계수
압력(mmHg) |
안전계수 |
760~100 |
1.0 |
100~ -10 |
1.25 |
0.5 ~ -0.5 |
1.5 |
10 ~ -0.05 |
2.0 |
0.05 ~
-0.5 |
4.0 |
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S = 배기속도(ℓ/mim) |
F = 진공도달계수 |
V = 용기의크기(ℓ) |
t = 진공도달
시간(min) |
안전계수는
1보다 같거나 큰 것으로 실제 산업체에서 사용할 때 가스량 등을
고려하여 위의 식에 곱해주는 숫자는 다음과 같다. |
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진공펌프
